新产品FETA
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· 大功率电源
· 半导体设备用电源
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1
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AC170-264V1φ
AC300-480V3φ
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2500W, 3000W, 7000W
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可
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三年
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・ 功率密度
・ 薄型结构,1U高度
・ 效率
・ 三相380V输入大功率电源
(FETA7000ST)
・ 无需串联即可获得高压144V输出
(FETA7000ST)
・ 通过使用TRM,可在0V至158.4V的宽范围内调压(FETA7000ST)
・ 谐波衰减器
・ SEMI F47
・ 并联运行/并联冗余运行
・ 信号,遥控ON / OFF及其它功能
型号:FETA2500BA (1φ220V), FETA3000BA (1φ220V), FETA7000ST (3φ380V)
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